硅片充氮烘箱，半導(dǎo)體充氮烤箱概述

硅片充氮烘箱，半導(dǎo)體充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。烘箱整機(jī)為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無塵材料，箱內(nèi)持續(xù)充氮，使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，并附設(shè)有超溫自動停電及報(bào)警電路，控制可靠，使用安全。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

特點(diǎn)

1、全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺本身產(chǎn)生微塵；
2、耐高溫，可以達(dá)到和工作場所同樣的潔凈等級；

技術(shù)參數(shù)

1、主要技術(shù)指標(biāo)

Ø  溫度范圍： RT（室溫）+10～200℃；

Ø  溫度偏差：≤±2.0℃；

Ø  升溫速度：≥2℃/min；

Ø  潔凈等級：千級以上

Ø  計(jì)時功能：具有獨(dú)立的計(jì)時器，計(jì)時開關(guān)，計(jì)時報(bào)警器

2、箱體結(jié)構(gòu)

Ø  箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆；

Ø  內(nèi)室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼；

Ø  保溫材料：超細(xì)玻璃棉；

Ø  排 氣 口：ф50；

Ø   隔 板：2層，不銹鋼方通，承重約30KG；

Ø  空氣循環(huán)裝置：大容量軸流電機(jī)；

Ø  加熱方式：不銹鋼電加熱器；

3、溫控系統(tǒng)

Ø  溫度測量傳感器：Pt100 鉑電阻；

Ø  控制儀表：日本富士溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制精度0.1℃；

Ø  超溫保護(hù)儀表：獨(dú)立于工作室主控制的超溫保護(hù)系統(tǒng)，保證試驗(yàn)品的安全；

Ø  控制系統(tǒng)：主要電器件均采用施耐德、歐姆龍等進(jìn)口元?dú)饧?/span>