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半導體烘烤設備

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硅片潔凈烘箱，半導體百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗

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2025-09-16

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SECS/GEM協(xié)議無塵烘箱，無塵烤箱工業(yè)烘箱

SECS/GEM協(xié)議無塵烘箱，無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。設備可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。

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芯片電熱鼓風烤箱，可編程鼓風烘箱

芯片電熱鼓風烤箱，可編程鼓風烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料預處理烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

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2025-09-16

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芯片精密循環(huán)烤箱，可編程精密烘箱

芯片精密循環(huán)烤箱，可編程精密烘箱是一種高功能、高信賴度烤箱，結構、材質強度、保溫、循環(huán)風道等均設計精良，且外形美觀、操作方便。空氣循環(huán)系統(tǒng)為水平式循環(huán)送風，風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，如此可得到較佳的溫度均勻性，均勻度可達±1.5％，當門開、關動作引起擾動時，可借此送風循環(huán)系統(tǒng)迅速回復操作

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